流量大,15-300SLPM
? 受腐蚀的部位采用哈氏合金,适用于惰性气体及腐蚀性强的气体
? 过滤等级为0.0025μm,即使在高流速的情况下,也不会引起出口端压力的下降
? 内部抛光等级为5Ra,防止其内部污染
? 通过高温氮气及去离子水清洁,满足半导体行业的标准 cess
? 清洁及包装在100级洁净室内
TKSCT过滤器
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TKSCT过滤器
产品属性
产品优势 韩国TKSCT过滤器
详细信息 流量大,15-300SLPM
? 受腐蚀的部位采用哈氏合金,适用于惰性气体及腐蚀性强的气体 ? 过滤等级为0.0025μm,即使在高流速的情况下,也不会引起出口端压力的下降 ? 内部抛光等级为5Ra,防止其内部污染 ? 通过高温氮气及去离子水清洁,满足半导体行业的标准 cess ? 清洁及包装在100级洁净室内 相关产品 共0条 相关评论 ![]() |